Non-thermal plasma technology for air pollution control, which are NOx, SOx, VOCs, soot, etc., is reviewed. In the early parts of the paper, generation of non-thermal plasma and plasma chemical process are introduced to provide an appropriate plasma condition (electron energy density) for treating air pollutions. Recent results on numerical simulation, optical diagnostics, and gas treatment are provided to characterize an optimal design of plasma generation and plasma chemical process. These data are also helpful to understand unique features of non-thermal plasma process that is achieved with relatively low temperature conditions, i.e. low enthalpy conditions of the treated gas molecules. In the later parts of the paper, several examples of recently developed non=thermal plasma techniques are illustrated, in which technical and economical assessments of the present techniques are provided.

본 논문에서는 대기압 저온 플라즈마를 이용하여 저농도의 유해물질로서 배출되는 NOx, SOx, 휘발성 유기화학물 (VOCs), 악취, 매연입자를 처리하는 대기환경설비기술에 대해 살펴보았다. 대기압 저온 플라즈마는 대부분 코로나 및 유전체방전을 통해 발생되며, 저온 플라즈마는 배출가스의 99% 이상을 차지하는 산소, 질소, 이산화탄소 및 수증기의 엔탈피를 증가시키지 않고서도 즉, 낮은 공정온도 조건에서 유해가스를 선택적으로 처리하는 장점이 있다. 본 논문에서는 저온 플라즈마 발생 및 이로 인해 유도된 화학반응의 특성을 수치해석 및 실험결과를 통해 살펴봄으로서 유해물질을 처리하는데 적합한 플라즈마의 조건(전자 에너지 밀도)을 제시하였고, 이를 구체저긍로 달성하기 위한 반응기 형상 및 전력조건을 제시하였다. 본 논문의 후반부에서는 해당기술의 개발사례 및 현재 이들 기술이 갖는 기술 및 경제적인한계점을 제시함으로서 향후 관련기술의 완성도를 높이는데 도움이 되고자 하였다.