The binary vapor-liquid equilibrium (VLE) and the mixing properties, excess volumes (VE) and deviation of viscosity (Δη) were measured for the silicon chloride containing compounds that are used as precursor for electronic materials. The isothermal VLE data at 323.15 K for the system of SiCl4(1)+benzene(2) showed minimum boiling azeotrope, while the SiCl4(1)+toluene(2) system had no azeotrope in the whole range of concentration. The excess volumes at 298.15 K were found to be positive for all the systems of SiCl4(1)+benzene(2), SiCl4(1)+toluene(2), SiCl4(1)+o-xylene(2) and SiCl4(1)+SiCH3Cl3(2) from the ideal behavior because they were not polar materials and have no significant physical intermolecular attractions. However, they showed small negative deviations of viscosity in all the measured systems. SomegEmodels and the Redlich-Kister polynomial were used for correlation of measured VLE data and excess properties, respectively. The measured data were correlated relatively well with model equations. Besides, infinitely partial excess molar volumes were calculated from the correlated Redlich-Kister parameters.

SiCl4(1)+benzene(2)과 SiCl4(1)+toluene(2) 이성분계에 대한 323.15K 하에서의 등온 기액평형을 headspace gas chromatography를 이용하여 측정하였다. SiCl4(1)+ benzene(2)계는 SiCl4조성 0.866, 압력 608.56 torr에서 최소 공비점을 보였으나, 비슷한 특성계인 SiCl4(1)+toluene(2), SiCl4(1)+o-xylene(2) 및 SiCl4(1)+SiCH3Cl3(2)계에 대한 과잉부피와 점도편차를 digital vibrating tube densimeter와 precision viscometer로부터 측정된 밀도와 동점도로부터 각각 결정하였다. 과잉부피는 구성분들이 비극성 화합물임에 따라, 그 특성상 전 측정계에서 비교적 큰 양의 편차를 보였고, 점도편차의 경우는 전 측정계에서 적은 음의 편차를 보였다. 혼합 시에 과잉부피 값들이 비교적 큰 양의 값을 보이며 좌우대칭형태를 보임에 따라, 혼합물의 동점도도 증가하며 등몰영역에서 최대값을 갖는 곡선으로 나타났다. 측정한 기액평형 데이터와 과잉부피 및 농도 편차 자료는 gE모델식 및 Redlich-Kister 다항식에 상관시킨 결과 비교적 좋은 상관관계를 보였으며, 도출된 매개변수로부터 무한희석시의 부분과잉몰부피를 계산하였다.