The surface of an α-alumina tube was coated with zirconium modified polycarbosilane(PZC) by dip-coating method. Then the tube was pyrolyzed at 573∼823 K. The prepared inorganic composite membrane was in 1 m thickness and had no pinholes larger than several nm. For the pyrolyzed inorganic composite membrane, the permeation test of He, N2, CO2, and O2was performed at 303∼423 K. The gas permeation and separation factor were increased with increasing permeation temperature. The permeation for gases was controlled by the activated diffusion mechanism. The separation factor of CO2, to N2was 4.9 at 363 K on the composite membrane pyrolyzed at 823 K and its value was higher than that of He and O2.

침지코팅법에 의해 지르코늄이 혼성된 폴리카르보실란(PZC)을 알루미나 지지체 위에 코팅한 후 573∼764 K에서 열분해하여 무기 복합막을 제조하였으며 1㎛의 두께를 갖는 균일한 막을 얻을 수 있었다. 무기 복합막의 기체 투과 시험은 투과기체를 He, N2, CO2, O2로 하고 투과온도 범위를 303∼423 K에서 수행하였다. 투과온도가 증가할수록 기체 투과계수와 분리계수는 증가하였다. 이러한 현상을 통해 PZC 복합막에 대해서 기체투과흐름은 activated 확산 현상을 나타내고 있음을 확인하였으며 특히 CO2의 경우에 N2에 대한 분리계수는 4.9로 가장 큰 값을 보였다.