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ISSN : 1225-0112(Print)
ISSN : 2288-4505(Online)

Applied Chemistry for Engineering Vol.33 No.6 pp.630-635
DOI : https://doi.org/10.14478/ace.2022.1099

Fabrication of Copper(Ⅱ) Oxide Plated Carbon Sponge for Free-standing Resistive Type Gas Sensor and Its Application to Nitric Oxide Detection

Seokjin Kim^*, Seongmin Ha^*, Seongjae Myeong^*, Young-Seak Lee^*,**†

^*Chemical Engineering and Applied Chemistry, Chungnam National University, Daejeon 34134, Republic of Korea
^**Institute of Carbon Fusion Technology, Chungnam National University, Daejeon 34134, Republic of Korea

^† Corresponding Author: Chungnam National University Chemical Engineering and Applied Chemistry, Daejeon 34134, Republic of Korea Tel: +82-42-821-7007 e-mail: youngslee@cnu.ac.kr

Received October 5, 2022 ; Review October 18, 2022 ; Accepted October 31, 2022

Abstract

Copper(Ⅱ) oxide (CuO), electroless plated on a nitrogen-containing carbon sponge prepared by a melamine sponge thermal treatment, was developed as a nitric oxide (NO) gas sensor that operates without a wafer. The CuO content on the surface of the carbon sponge increased as the plating time increased, but the content of nitrogen known to induce NO gas adsorption decreased. The untreated carbon sponge showed a maximum resistance change (5.0%) at 18 min. On the other hand, the CuO plated sample (CuO30s-CS) showed a maximum resistance change of 18.3% in 8 min. It is considered that the improvement of the NO gas sensing capability was caused by the increase in hole carriers of the carbon sponge and improved movement of electrons due to CuO. However, the NO gas detection resistance of the CuO electroless plated carbon sponge for 60 s decreased to 1.9%. It is considered that the surface of the carbon sponge was completely plated with CuO, resulting in a decrease in the NO gas adsorption capacity and resistance change. Thus, CuO-plated carbon sponge can be used as an effective NO gas sensor because it has fast and excellent resistance change properties, but CuO should not be completely plated on the surface of the carbon sponge.

Key Words : Copper(Ⅱ) oxide , Nitric oxide , Sensor , Electroless plate , Carbon sponge

프리스탠딩 저항형 가스 센서용 산화구리 무전해 도금 탄소스펀지 제조 및 일산화질소 감지

김 석진^*, 하 성민^*, 명 성재^*, 이 영석^*,**†

^*충남대학교 응용화학공학과
^**충남대학교 탄소융복합기술연구소

초록

멜라민 스펀지를 열처리하여 제조된 질소함유 탄소 스펀지에 산화구리(CuO)를 무전해 도금하여 기판없이 작동하는 일산화질소(NO) 가스 센서를 제조하였다. 탄소 스펀지 표면의 CuO 함량은 도금 시간이 증가함에 따라 증가하였으나, NO 가스 흡착을 유도한다고 알려져 있는 질소의 함량은 CuO 표면 함량이 증가함에 따라 감소하였다. 미처리 탄소 스펀지는 NO 가스에 대하여 18 min에 최대 저항 변화(5.0%)를 나타내었다. 반면에, CuO가 도금된 샘플(CuO30s-CS)은 8 min만에 최대 18.3%의 저항변화를 보였다. 이러한 NO 가스 감지 능력 향상은 CuO로 인하여 탄소 스펀지의 정공 캐리어 수 증가 및 전자전달 촉진에 기인하는 것으로 판단된다. 그러나, 60 s 동안 CuO 무전해 도금된 탄소 스펀지의 NO가스 감지 저항은 1.9%로 오히려 감소하였다. 이는 탄소 스펀지 표면에 CuO로 완전히 도금되어 NO 가스 흡착 능력이 떨어져 저항변화가 감소한 것으로 판단된다. 따라서, CuO가 도금된 탄소 스펀지는 빠르고 우수한 저항변화 특성을 가지고 있어 유용한 NO 가스 센서로 사용할 수 있으나, CuO가 탄소 스펀지 표면을 완전히 도금해서는 안 된다.

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Funding:

1. 서 론

산업이 발전함에 따라 증가하는 산업폐기물의 배출 및 자동차 연료 의 연소가스는 심각한 대기오염을 야기하고 있다[1-3]. 이 중 일산화 질소(NO)는 소아 아토피, 천식, 오존층 파괴, 산성비, 및 광화학 스모 그 등 수많은 건강 및 환경 문제의 주된 원인으로 알려져 있다[4-7]. 따라서 유해가스의 발생 방지 및 사전 대응을 위하여 유해가스를 감 지할 수 있는 가스센서의 개발이 필요하다. 가스센서에 이상적인 재 료는 고감도, 선택성, 빠른 응답시간, 및 빠른 회복속도 등의 특성을 가져야 한다. 특히, 가스 센서 재료로 사용하기 위한 가장 중요한 특 성은 높은 감도가 요구되고 있는데, 최근 많은 연구자들이 고감도 가 스센서 개발에 집중하고 있다[7-9].

가스 센서는 감지 메커니즘에 따라 연소형, 열전도형 및 반도체형 으로 나누어진다. 그 중 반도체형 가스센서는 폭발성가스, 유해가스, 습도, 연기 및 알코올 등의 검출에 다양하게 적용할 수 있으며, 가스 에 대한 응답속도가 빠르고 특정가스에 대한 선택성이 높아 활발하게 연구되고 있다[10-12]. 반도체형 가스 센서 재료의 예로는 금속산화 물, 탄소나노튜브, 그래핀, 및 활성탄소섬유 등이 있다. 이 중 금속산 화물 센서는 200 °C 이상의 고온에서 작동한다는 단점이 있으며, 다 양한 탄소재료들을 사용한 센서의 경우 상온에서 작동한다는 장점이 있지만 감도가 낮고 센서로 사용하기 위해서는 기판이 필수적으로 동 반되기 때문에 그 사용이 제한된다[2,7,12,13]. 따라서 기판이 필요 없 는 프리스탠딩 가스 센서를 제조하기 위한 연구가 요구되고 있다.

3D 구조를 가지고 있는 재료는 다공성 구조를 가지고 있어 센싱 물 질 표면으로의 가스 분자 확산 속도가 빠르며, 3D 프리스탠딩 구조를 유지할 수 있다[14-17]. 멜라민 스펀지를 열처리하여 간단하게 제조된 탄소 스펀지는 3D 다공성 구조 가지고 있어 프리스탠딩 가스 센서용 으로 적합하다[15,18-20]. 그러나 전자의 느린 이동으로 인하여 응답 시간이 느리고 감도가 낮다. 따라서, 고감도 가스센서로 적용하기 위해 서는 전기전도도를 향상하는 별도의 표면처리가 필요하다[15,16,21].

한편, 탄소 재료의 전기전도도를 향상시키기 위해 다양한 표면 처 리가 연구되었다. 그 중 무전해 도금 기술은 조작이 간편하고 친환경 적이며 비용이 저렴하다는 장점이 있어 많은 연구가 진행되고 있다 [22-24]. 이전 연구에 따르면 NO 가스 감응 특성을 향상시키기 위하 여 Cu 또는 CuO가 탄소 재료에 도금되었다[3,25,26]. 금속 또는 금속 산화물이 도금된 탄소 재료를 가스 센서 재료로 사용하면 가스에 대 한 선택성, 감도 및 응답 시간을 향상시킬 수 있다[22,27-29].

본 연구에서는, 기판없이 작동하는 탄소계 프리스탠딩 가스 센서와 그 가스 센싱 특성을 알아보기 위하여 멜라민 스펀지를 열처리하여 제조된 질소 함유 탄소 스펀지에 CuO 무전해 도금하였다. 또한, 질소 함유 탄소 스펀지와 CuO 도금된 탄소 스펀지의 표면 특성을 평가하 고, 무전해 도금 시간에 따른 질소함유 CuO 도금된 탄소 스펀지의 산 화질소 가스 감지 특성을 고찰하였다.

2. 실 험

2.1. 시약 및 재료

본 연구에서는 탄소 스펀지를 제조하기 위하여 멜라민 스펀지 (melamine sponge, Korea House, Korea)를 이용하였다. 멜라민 스펀지 를 세척하기 위하여 에탄올(ethanol, Samchun, Korea) 및 아세톤 (acetone, Samchun, Korea)을 사용하였다. 구리 산화물을 무전해 도금 하기 위하여 염화제일주석(anhydrous tin(II) chloride, 98.0%, Junsei, Japan), 염화팔라듐(II)(palladium(II) chloride, Aldrich, USA), 수산화나 트륨(sodium hydroxide, Samchun, Korea) 및 황산구리오수염(copper(II) sulfate pentahydrate, Aldrich, USA)를 사용하였다. 센서를 제조하기 위하여 은와이어(silver wire, 99.99%, 0.1 mm, Nilaco, Japan) 및 은페 이스트(silver paste, ELCOAT, Korea)를 사용하였으며, 질소 가스(N₂ gas, 99.999%, special gas, Korea) 및 일산화 질소 가스(NO gas, 1000 ppm, Rigas, Korea)를 사용하여 일산화질소 가스 감응 특성을 확인하였다.

2.2. 멜라민 스펀지 기반 탄화 스펀지 제조

멜라민 스펀지(25 × 25 × 5 mm)를 에탄올과 아세톤으로 각각 2회 세척 후 80 °C의 오븐에서 건조하였다. 건조된 멜라민 스펀지를 질소 분위기에서 승온속도 5 °C/min 으로 800 °C까지 가열한 후 8 h 열처 리하였다. 마지막으로, 얻어진 탄소 스펀지를 질소분위기에서 상온으 로 냉각시켰다.

2.3. 무전해 구리 산화물 도금

탄소 스펀지의 표면에 구리 산화물을 도입하기 위하여 표면 처리를 3단계로 진행하였다. 첫 번째 단계는 예민화로, 2 wt% 염화제일주석 수용액에 5분 동안 침지하여 예민화 처리하였다. 그런 다음, 예민화된 탄소 스펀지를 0.1 wt% 염화팔라듐(II) 수용액에 2 min간 침지하여 활 성화 처리하였다. 활성화 처리된 탄소 스펀지는 수세 후 건조하였다. 마지막으로, 활성화된 탄소 스펀지를 1 wt% 황산구리오수염 수용액 에 지정된 도금 시간(5, 10, 20, 30, 및 60 s) 동안 침지하여 구리 산화 물을 도금하였다. 황산구리오수염 수용액의 온도는 60 °C로 설정하였 으며, 수산화나트륨을 첨가하여 pH 7.5로 조절하였다. 이때 멜라민 스 펀지 및 미처리 탄소 스펀지는 각각 MS 및 CS로 명명하였으며, 구리 도금된 탄소 스펀지(CuO-CS)는 무전해 도금 시간에 따라 CuO05s-CS, CuO10s-CS, CuO20s-CS, CuO30s-CS, 및 CuO60s-CS으로 각각 명명 하였다. 무전해 도금된 탄소 스펀지는 증류수로 여러 번 세척하여 잔 류 구리를 제거하고 100 °C에서 건조하였다.

2.4. 제조된 샘플의 특성 분석

열처리 온도에 따른 멜라민 스펀지의 질량 감소를 확인하기 위하여 열중량분석(TGA, STA 449 F5_Jupiter, Netzsch, Germany)을 진행하 였다. 열중량분석은 질소분위기에서 실시하였으며 10 °C/min의 승온 속도로 25~1000 °C 구간에서 분석하였다 샘플 표면의 형태는 전계방 출형 주사전자현미경(FE-SEM, Hitachi S-4800, Hitachi, Japan)으로 분 석하였다. 구리의 존재를 확인하기 위하여 에너지 분산 X-선 분광기 (EDS, Oxford X-Max 50, Oxford, UK)로 분석하였다. X-선 회절분석 기(XRD, D8 Discover, Bruker, USA) 분석은 Cu을 타겟으로 하여 10~80° 범위에서 수행하였다.

2.5. NO 가스 감응 특성 평가

제조된 탄소 스펀지 및 CuO-CS의 저항 값을 측정하기 위하여 양 끝에 은와이어를 은페이스로 부착한 후 상온에서 5 h 건조하였다. 제 조된 샘플의 NO 가스 감지 특성을 확인하기 위하여 전위계 시스템 (Keithley 6514)을 사용하여 전기 저항의 변화를 측정하였다. 준비된 샘플에 연결된 은와이어를 집게 전선으로 연결한 후 700 cc 부피의 반응기 중앙에 위치하였다. 초기에 전기저항을 안정화하기 위하여 N₂ 가스를 30 min 동안 반응기 안에 주입하였으며, 1000 ppm NO 가스를 N₂ 가스와 혼합하여 가스농도를 제어하였다. 총 500 sccm 유량의 NO 및 N₂ 혼합가스를 30 min 동안 주입하는 동안의 전기 저항을 측정한 후 아래 식(1)에 대입하여 감도를 계산하였다.

Δ S (%) = \frac{Δ R}{R_{N_{2}}} \times 100 = \frac{Δ R_{N O} - R_{N_{2}}}{R_{N_{2}}} \times 100

(1)

이때, $R_{N_{2}}$ 및 R_NO 는 각각 N₂ 및 NO가스에 대한 샘플의 저항 값이다.

3. 결과 및 고찰

3.1. 멜라민 스펀지 기반 탄화 스펀지의 열적 및 표면 특성

열처리 온도에 따른 멜라민 스펀지의 질량 감소를 Figure 1(a)에 나 타내었다. Figure 1(a)에서 보여주는 것과 같이, TGA 곡선에서 보여지 는 멜라민 스펀지의 질량 감소는 크게 3단계로 구분된다. 150 °C까지 진행되는 1단계 질량 감소는 멜라민 스펀지에 존재하는 수분의 증발 에 기인한 것으로 약 7.5 wt%의 질량 감소를 보였다. 멜라민 스펀지는 350~400 °C 사이에서 약 30.5 wt%의 급격한 질량 감소를 보이는데, 이는 멜라민 스펀지 구조의 메틸렌 브릿지(NH-CH₂-NH)의 파괴에 기 인한다. 또한, 400 °C 이상에서의 질량 감소는 트리아진 고리의 열분 해에 기인하며, 질량 감소가 비교적 안정적인 속도로 진행된다 [18-20]. 800 °C 열처리 후 탄소 스펀지의 부피는 멜라민 스펀지에 비 하여 약 93.6% 감소하였다.

탄소 스펀지 표면의 변화를 알아보기 위하여 SEM 분석 후 Figure 1(b)에 나타내었다. 멜라민 스펀지는 오목한 삼각형 섬유로 이루어진 다공성 3차원 구조를 가지고 있으며 골격 표면이 매끄러웠다. 이에 반 하여 열처리 후 제조된 탄소 스펀지는 멜라민 스펀지에 비하여 표면 이 주름진 것을 확인하였다. 이 물결 모양의 주름은 섬유질이 분해되 어 표면이 수축하여 생긴 것으로 판단된다[20].

3.2. 제조된 CuO-CS의 표면 특성

CuO 무전해 도금 시간에 따른 CuO-CS의 표면 형태를 SEM 분석하 여 Figure 2에 나타내었다. CuO05s-CS의 SEM 이미지에서 CuO가 “눈송이” 모양의 입자로 도금된 것을 확인하였다[30]. 무전해 도금 시 간이 증가함에 따라 탄소 스펀지에 도입된 입자는 집합체를 이루어 크기가 더욱 증가하였으며, 도금 시간이 가장 길었었던 CuO60s-CS에 서는 CuO가 탄소 스펀지의 표면 전체에 전반적으로 두껍게 도금되었 고 이로 인하여 도금층이 갈라져 있음을 확인할 수 있었다.

열처리 및 무전해 도금된 탄소 스펀지의 표면화학적 성분을 확인하 기 위하여 EDS에서 원소 분석을 수행하였고, EDS 이미지를 Figure 3 에 나타내었다. Figure 3에서 볼 수 있듯이 멜라민 스펀지 및 탄소 스 펀지에서 C, N, 및 O와 같은 다양한 원소가 검출되었으며, CuO30s- CS 및 CuO60s-CS에서는 추가로 Cu가 검출되었다. 자세한 원소의 함 량을 알아보기 위하여 원소 분포를 분석하고 Table 1에 나타내었다. 멜라민 스펀지는 각각 50.91, 35.58, 및 13.51%의 C, N, 및 O로 구성 되었다. 이는 멜라민 스펀지에 존재하는 메틸렌 브릿지와 트리아진 고리에 기인한다[17-19]. 탄소 스펀지는 멜라민 스펀지에 비하여 N가 13.16%로 크게 감소하였는데, 이는 앞서 언급한 것과 같이 열처리에 따른 메틸렌 브릿지의 파괴와 트리아진 고리의 열분해에 기인한다[18, 19]. CuO30s-CS에서는 C와 N이 각각 46.18% 및 8.50%으로 탄소 스 펀지보다 감소하였다. 이는 탄소 스펀지 표면에 CuO가 도금됨에 따 라 Cu와 O의 함량은 증가하고 C와 N의 함량은 상대적으로 감소한 것 으로 판단된다[3]. CuO로 완전히 도금된 CuO60s-CS는 다른 샘플들에 비하여 C와 N이 각각 25.45% 및 3.41%로 크게 감소하였으며, Cu와 O는 크게 증가하였다. 이러한 결과는 무전해 도금 시간의 증가에 따 라 CuO 입자가 탄소 스펀지 표면에 더 많이 도금되었음을 나타낸다.

CuO의 결정구조를 조사하기 위하여 XRD 분석을 수행하였으며, 그 결과를 Figure 4에 나타내었다. 탄소 스펀지는 2θ = 20~30°에서 완만 한 피크를 나타냈으며, 이는 탄소 스펀지에서 나타나는 특징적인 피 크이다[31,32]. 모든 CuO-CS은 약 2θ = 39.8, 46.3, 및 67.8°에서 새 로운 피크를 보여주며, 이는 도금된 CuO에 기인한다[11,33]. 탄소 스 펀지와 CuO-CS의 피크를 비교하면 탄소 스펀지의 특징적인 피크의 세기가 감소하는데 이는 탄소 스펀지 표면에 CuO 입자가 도입됨에 따라 표면에서의 탄소 함량이 감소하기 때문에 피크의 세기 또한 감 소한 것으로 판단된다. 또한, CuO 피크의 세기는 무전해 도금 시간에 따라 증가하였다. 이는 CuO 입자의 성장에 기인한 것으로 사료된다 [33]. XRD 결과 CuO 피크의 세기는 무전해 도금 시간이 증가함에 따 라 강화되었다. 이는 EDS 결과와 일치한다.

3.3. 저항 변화에 의한 가스 감응 특성

NO 가스 노출 시간에 따른 전기 저항 변화로 탄소 스펀지 및 CuO-CS의 가스 감지능력을 Figure 5에 나타내었다. 탄소 스펀지와 같 은 탄소재료는 일반적으로 산화 가스에 노출되면 전자공여체 역할을 한다. 따라서 탄소 스펀지의 가전자대에 전공이 생성되고 정공 캐리 어의 증가로 인하여 전류와 전도도가 증가하고 저항은 감소한다[3, 34]. 이는 p-type 반도체 특성이며, NO 가스는 대표적인 산화성 가스 로 탄소 스펀지는 p-type 반도체 거동을 나타낸다[35].

N 원자는 채워지지 않은 최외각 2p 궤도로 인하여 높은 전기 음성 도와 우수한 전자 끌어당김 능력을 나타낸다고 알려져 있다[36-38]. 표면에 N이 풍부한 탄소 스펀지는 NO 가스를 흡착하여 저항 변화가 약 5.0% 나타났으나, 약 18 min에 최대 저항 변화에 도달하였다. 따라 서, 탄소 스펀지는 센서로 사용하기에는 응답시간이 너무 늦고 감도 가 낮다고 판단된다. CuO5s-CS의 저항변화는 약 6.1%였으며, 10 min 안쪽으로 최대 저항 변화에 도달하였다. CuO10s-CS 샘플의 저항변화는 6 min 동안 약 7.4%로 급격히 증가하여 NO 가스에 대한 응답 시간과 감도가 상당히 개선되었다. CuO20s-CS는 CuO-10s와 응답시간은 비 슷하였지만 저항변화는 약 14.1%로 크게 증가하였다. CuO30s-CS는 NO가스 센서로서 가장 좋은 특성을 보였는데, 8 min만에 전기저항이 약 18.3%까지 변화를 가져왔다. CuO-CS는 탄소 스펀지에 비하여 향 상된 감지 특성을 보였다. 이는 탄소 스펀지 표면에 도금된 CuO에 기 인한다. Figure 6은 CuO의 도입을 기반으로 한 NO 가스 감지 메커니 즘이다. CuO 입자는 전자의 이동을 돕는 촉매의 역할을 한다고 알려 져 있다. NO 가스 주입 후 샘플 표면에 NO 분자가 흡착되어 CuO 표 면에서 전자를 빼내며, 이 과정에서 전위 장벽이 감소하고 CuO가 도 입된 탄소 스펀지의 저항이 낮아진 것으로 판단된다[3,11,27-29,35]. 무전해 도금시간이 가장 길었던 CuO60s-CS의 경우 저항변화가 1.9% 로 NO 가스에 덜 민감한 것으로 나타났다. 이는 탄소 스펀지 표면에 CuO가 완전히 도금되어 NO 가스 흡착을 방해한 것으로 판단된다 [39]. 결과적으로, CuO60s-CS 표면에 N의 함량이 크게 감소하여 NO 가스를 흡착하는 능력이 없어 저항변화가 가장 적었던 것으로 사료된 다. 모든 CuO-CS는 NO 가스를 차단하여도 전기저항이 회복되지 않 았다. Naderi 등[39]은 N이 있는 표면과 질소산화물의 흡착 에너지가 준화학적으로 결합한다고 보고 하였다. 이러한 결합에너지는 반데르 발스 상호 작용보다 강하기 때문에 질소산화물이 탈착되지 않아 응답 시간에 비하여 회복 시간이 긴 것으로 판단된다[40].

NO 가스에 대하여 민감도가 가장 우수한 CuO30s-CS를 대표로 선 정하여 NO 가스 농도에 따른 연속적인 저항변화를 Figure 7에 나타내 었다. NO 가스 농도가 가장 낮은 5 ppm에서 CuO30s-CS는 약 3.8%의 저항변화를 보여주었다. 또한, CuO30s-CS의 저항변화는 NO 가스 농 도가 10, 20, 및 50 ppm으로 높아짐에 따라 각각 4.9, 8.1, 및 14.8%로 변화하였으며, 농도가 가장 높은 100 ppm에서 17.9%의 저항변화를 나타내었다. CuO30s-CS는 가스 농도 5, 10, 20, 50, 및 100 ppm에서 연속적으로 우수한 저항변화를 나타냈다. 앞에서 언급한 바와 같이 NO가스에 대한 CuO30s-CS의 우수한 감응 특성은 NO 가스 흡착을 유도하는 표면의 N와 전자 전달을 촉진시키는 CuO에 기인한다. 따라 서, CuO-CS는 유망한 NO 가스 센서로 이용될 것으로 기대된다.

4. 결 론

본 연구에서는, 탄소 스펀지에 CuO 무전해 도금에 따른 NO 가스 감응특성을 고찰하고 다음과 같은 결론을 얻었다. 멜라민 스펀지를 열처리하여 제조된 탄소 스펀지 표면에는 여전히 N이 존재하여 NO 가스 흡착을 유도하였다. 탄소 스펀지는 NO 가스에 대하여 18 min에 5.0%의 저항 변화를 나타냈으며, CuO가 무전해 도금된 CuO-CS는 8 min만에 최대 18.3%의 저항변화를 보였다. CuO-CS는 CS보다 우수한 NO 가스 감지 능력을 보였는데, 이는 도금된 CuO 입자가 탄소 스펀 지에서 전자 전달을 촉진하여 NO 가스 감지 능력을 향상시킨 것으로 판단된다. 따라서, CuO가 무전해 도금된 탄소 스펀지는 유망한 NO 가스 센서로 이용될 것으로 기대된다.

감 사

본 연구는 한국 산업기술평가관리원의 탄소산업기반조성사업(고순 도 가스 분리용 탄소분자체 및 시스템 제조기술 개발: 20016789)의 지 원에 의하여 수행하였으며 이에 감사드립니다.

Figures

Figure 1.TGA curve of (a) MS and FE-SEM images of (b) MS and (c) CS.

Figure 2.FE-SEM images of (a) CS, (b) CuO5s-CS, (c) CuO10s-CS, (d) CuO20s-CS, (e) CuO30s-CS, and (f) CuO60s-CS.

Figure 3.EDS images of (a) MS, (b) CS, (c) CuO30s-CS, and (d) CuO60s-CS.

Figure 4.XRD patterns of the CS and CuO-CS.

Figure 5.Gas sensing behavior of the CS and CuO-CS under a flow of NO gas (100ppm) at room temperature.

Figure 6.Mechanism for NO gas sensing.

Figure 7.Gas sensing behavior of the CuO30s-CS towards various NO concentrations at room temperature.

Tables

Table 1.EDS Analysis of MS, CS, CuO30s-CS, and CuO60s-CS

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