1. 서 론
화석연료의 무분별한 사용에 따른 자원 고갈 및 환경오염 문제를 해결할 목적으로 친환경적인 대체 에너지원을 활용하고자 하는 노력 이 전 세계적으로 진행되고 있다. 그중 무한한 태양에너지의 활용 방 법으로 태양전지를 이용하는 방법이 있으며, 태양전지는 설치가 쉽고 사용 및 유지보수가 편리하다는 장점으로 인해 그 사용이 크게 증가 하고 있다. 한편, 태양전지는 주로 야외에 설치되기 때문에 외부로부 터의 오염과 충격으로부터 태양전지를 보호하기 위한 유리 기판을 사 용한다. 이때 유리와 공기 계면 사이에서의 굴절률 차이로 인해 태양 광의 일부가 반사되기 때문에, 약 4%의 광 투과율 손실이 발생한다. 따라서 에너지 전환 효율을 증가시키기 위한 방법 중 하나로 유리 기 판의 표면에서 태양광의 반사를 감소시키는 반사방지(anti-reflective; AR) 코팅막을 도입하는 방법이 연구되고 있다[1,2].
AR 코팅막의 원리는 빛의 파동적 성질을 이용하여 투과율을 증가 시키는 것이다. 이론적으로 입사광 파장의 1/4의 두께를 갖는 코팅막 이 유리 기판 위에 코팅될 경우, 코팅막 표면에서 반사되는 빛의 파장 과 유리 기판 표면에서 반사되는 빛의 파장이 서로 상쇄 간섭을 일으 켜 빛의 반사를 거의 제거할 수 있다. 유리 기판을 사용하는 경우 태 양 에너지의 전환 효율이 가장 높은 540~560 nm의 파장 영역에서 빛 의 반사를 억제하기 위하여 약 137.5 nm의 두께 및 약 1.22의 굴절률 을 갖는 코팅막이 요구된다[3-5]. 한편, 공극률이 크며 극성을 갖는 AR 코팅막은 외부로부터 수분을 쉽게 흡수하는 경향이 있다. AR 코 팅막에 흡수된 수분은 굴절률을 증가시키며 반사방지 능력을 크게 감 소시킨다. 따라서 막 표면 거침 정도의 변화, 소수성 기 도입 등을 통 하여 AR 코팅막의 소수성을 향상시키기 위한 연구가 계속적으로 진 행되고 있다. 이에 더하여, 대부분의 태양전지는 야외에 설치되기 때 문에 내마모성과 함께 공기 중의 먼지 및 유분으로 인한 오염으로부 터 높은 저항성을 갖는 AR 코팅막의 실현이 요구된다.
유리 기판에 AR 코팅막을 제조하기 위한 방법으로 스핀 코팅(spin coating), 딥 코팅(dip coating) 및 스프레이 코팅(spray coating) 등이 있다. 이 중 딥 코팅 방법은 대면적 유리 기판에도 적용하기 용이하며, 유리 기판의 양면을 동일한 두께로 균일하게 코팅할 수 있다는 장점 이 있다[6]. 코팅제는 주로 졸-겔(sol-gel)법을 통해 제조할 수 있는데, 이 방법은 제조 조건 및 절차가 간단하고 균일한 코팅제를 얻을 수 있는 장점이 있다. 보통 졸-겔 공정은 금속 알콕사이드, 물, 용매, 산 또는 염기 등을 함유한 용액을 이용하여 진행된다. 용매는 금속 알콕 사이드를 용해시키는 용도로 사용하고, 물은 금속 알콕사이드의 가수 분해를 위해 사용하며, 산 또는 염기는 촉매로 사용한다[7,8]. 이때 코 팅제의 제조 과정에서 산 및 염기 촉매의 사용에 따라 AR 코팅막의 투과율, 내마모성, 소수성 등의 특성을 변화시킬 수 있다. 일반적으로 산 촉매를 사용하는 경우 작은 선형 구조의 입자를 함유하는 코팅제 를 얻을 수 있으며, 이로부터 제조된 코팅막은 상대적으로 밀집되어 있어 기계적 강도가 우수하나 낮은 공극률로 인해 투과율이 감소한다. 반면, 염기 촉매를 사용하는 경우 큰 구형의 입자를 함유하는 코팅제 를 얻을 수 있으며, 이로부터 제조된 코팅막은 거칠기 정도와 공극률 이 높아 투과율이 증가하나 밀집도가 낮아 기계적 강도가 감소한다 [9-12].
최근 대부분의 AR 코팅막은 tetraethylorthosilicate (TEOS)를 전구 체로 사용하여 제조하고 있다[4,9,11-15]. 염기 촉매와 TEOS를 사용 하여 제조한 AR 코팅막의 경우, 예상했던 바와 같이 높은 투과율을 나타낼 수 있으나 내마모성 및 소수성이 낮은 특성을 갖는다. 반면, 산 촉매와 함께 methyltrimethoxysilane (MTMS)를 전구체로 사용하여 제조한 AR 코팅막의 경우, 투과율이 상대적으로 낮으나 내마모성이 높고 표면에 노출된 메틸기(-CH3)에 의해 소수성이 증가하는 장점이 있다[16-19].
따라서 본 연구에서는 TEOS/염기 촉매를 사용하여 제조한 용액(Sol A)과 MTMS/산 촉매를 사용하여 제조한 용액(Sol B)의 최적 혼합에 의해 적절한 기계적 강도를 가지며 우수한 투과율과 내오염성이 향상 된 코팅막을 제조하고자 하였다. 먼저 전구체의 종류에 따라 균질성을 유지할 목적으로 서로 다른 용매를 사용하여 제조하였으며, 이때 코 팅된 유리 기판의 우수한 광학 특성을 바탕으로 각 용매의 첨가량을 결정하였다. 다음은 Sol A와 Sol B의 혼합 비율을 변화시키며 다양한 혼합비를 갖는 혼성 용액(Sol C)을 제조하였으며, 최적의 혼합비를 결 정하고자 하였다. 제조된 AR 코팅막은 투과율, H2O 및 CH2I2 접촉각, FT-IR, AFM 그리고 연필 경도 시험을 통해 분석 및 평가하였다.
2. 실 험
2.1. TEOS/염기, MTMS/산 및 혼성 AR 코팅제의 합성
TEOS/염기, MTMS/산 및 혼성 AR 코팅제를 제조하기 위한 전체적 인 공정의 개략도를 Figure 1에 나타내었다. 먼저 Sol A 용액을 제조 하기 위하여 ethanol (EtOH, Samchun Chemical, 99.5%), TEOS (Sigma-Aldrich, 98.0%), 증류수 및 염기 촉매로써 ammonia solution (NH3, Junsei, 28.0%)을 사용하였다. 각각의 시료들은 TEOS : H2O : EtOH : NH3 = 1 : 3.25 : 20~60 : 0.17의 몰 비로 정량하여 2 h 동안 혼합하고, 25 ℃에서 7 days 동안 숙성하였다. 그 후, 용액 내에 남아 있는 NH3를 제거하기 위하여 24 h 동안 환류 시킨 다음, 여과하여 Sol A 용액을 제조하였다. 한편, Sol B 용액을 제조하기 위하여 methanol (MeOH, Samchun Chemical, 99.8%), MTMS (Samchun Chemical, 98.0%), 증류수 및 산 촉매로써 hydrochloric acid (HCl, Samchun Chemical, 35.0%)를 사용하였다. 각각의 시료들은 MTMS : H2O : MeOH : HCl = 1 : 3.07 : 5~40 : 0.001의 몰 비로 정량하여 2 h 동안 혼합하고 25 ℃에서 7 days 동안 숙성시킨 후 여과하여 Sol B 용액을 제조하였다. 그 다음, 광학 특성이 우수한 용매의 비율을 갖는 Sol A 용액과 Sol B 용액을 각각의 원하는 무게 비율로 혼합하고 1 h 동안 교반하여 혼 합함으로써 TEOS/염기 및 MTMS/산의 혼성 용액인 Sol C를 제조하 였다.
2.2. AR 코팅막 제조
합성된 Sol A, Sol B 및 Sol C 용액은 모두 AR 코팅제로 사용하기 전 0.22 μm PVDF filter를 이용하여 여과함으로써 이물질을 제거하였 다. AR 코팅막은 자체적으로 제작한 딥 코팅 장치를 이용하여 상온에 서 제조하였다. 유리 기판(76 × 52 × 1 mm3, Matsunami Glass IND., LTD.)은 딥 코팅을 진행하기 전에 acetone (CH3COCH3, Samchun chemical, 99.5%) 및 EtOH로 3회 세척한 후 건조시켰다. 딥 코팅 과정 에서 인상 속도는 0.14 cm/sec의 속도로 조절하였으며, 코팅된 유리 기판은 공기 분위기로 160 ℃에서 8 h 동안 경화시켰다.
2.3. AR 코팅막의 분석 및 평가
AR 코팅막의 광학적 특성을 확인하기 위해 가시광 영역(400~800 nm)의 파장 범위에서 자외선-가시광선 분광 광도계(UV-Vis spectrophotometer, Mecasys, Optizen-2120UV)를 이용하여 투과율을 측정 하였다. 또한 AR 코팅막의 내오염성을 상대적으로 확인할 목적으로 소수성 및 소유성 정도를 측정하였다. 소수성 및 소유성 정도는 접촉 각 측정 장치(drop shape analyzer, KRÜSS, DSA 100)를 이용하여 각 각 H2O 및 CH2I2의 접촉각을 측정하는 방법으로 평가하였다. 시료들 의 적외선 흡수 스펙트럼은 FT-IR (Fourier-transform infrared spectroscopy, Mattson, Genesis II)을 통해 분석하였다. AR 코팅막의 거칠기 및 표면 특성은 AFM (atomic force microscope, Horiba Jobin Yvon, INNOVA-LABRAM HR800) 분석을 통해 관찰하였으며, 기계적 강도 는 연필 경도 시험(ASTM D3363)을 통해 측정하였다.
3. 결과 및 고찰
3.1. 용매 함량에 따른 AR 코팅막의 광학 특성
TEOS/염기 기반 코팅 용액(Sol A) 및 MTMS/산 기반 코팅 용액 (Sol B)의 경우, 숙성과정에서의 균질성을 유지할 목적으로 가수분해 및 축합과정에서 생성되는 알코올인 EtOH와 MeOH을 각각의 용매로 사용하였다. 또한 용매/전구체의 적절한 몰 비는 코팅 표면 겔의 미세 구조 형성과정에서 매우 중요하다. 일반적으로 높은 전구체 농도는 작은 기공을 갖는 밀도가 높은 겔을 형성하는 반면, 임계 한계점 이상 의 낮은 전구체 농도에서는 응집체가 연결되지 않고 분리된 겔 형성 을 유도하는 것으로 알려져 있다[20,21]. 따라서 각각의 코팅 용액 제 조과정에서 용매/전구체의 비율을 변화시키며 적절한 용매의 함량을 먼저 결정하고자 하였다.
Table 1은 Sol A에서 TEOS : H2O : NH3의 몰 비를 1 : 3.25 : 0.17로 고정하고 EtOH/TEOS의 몰 비를 변화시키며 제조한 코팅막의 평균 투과율과 최대 투과율을 나타낸 것이다. EtOH/TEOS의 몰 비가 20에서 40까지 증가함에 따라 94.9%에서 96.8%까지 평균 투과율은 증가하였 으며, 그 이상에서는 약간 감소하는 경향을 나타냈다. 코팅하지 않은 유리 기판의 평균 투과율이 약 90.4%임을 고려할 때, EtOH/TEOS의 몰 비가 40일 때의 평균 투과율은 6.4% 이상 크게 향상되었음을 확인 할 수 있다. Table 2는 Sol B에서 MTMS : H2O : HCl의 몰 비를 1 : 3.07 : 0.001로 고정하고 MeOH/MTMS의 몰 비를 변화시키며 제조한 코팅막의 평균 투과율과 최대 투과율을 나타낸 것이다. MeOH/MTMS 의 몰 비가 10까지 증가함에 따라 평균 투과율은 93.9%로 증가하였으 며, 10 이상의 몰 비에서는 감소하는 것으로 나타났다. 한편, 각각의 용액에서 용매 함량 증가에 따른 최대 투과율의 변화는 모두 평균 투 과율의 변화와 유사한 경향을 나타내었다. 염기 촉매를 사용한 Sol A 의 경우 전체적으로 투과율 증가 폭이 높은 것으로 나타났는데, 이것 은 입자의 구형 팽창과 함께 망상 구조를 유도하고 코팅막의 기공 부 피 증가에 따른 굴절률 감소에 기인한 것으로 사료된다. 또한 산 촉매 를 사용한 Sol B의 경우 상대적으로 낮은 투과율 증가를 나타내고 있 는데, 이것은 선형 사슬의 성장과 함께 낮은 기공 부피를 가지며 밀도 가 높은 코팅막이 형성되었다는 것을 의미한다[21]. 이 결과를 바탕으로 다음에 사용되는 AR 코팅 혼성 용액을 제조하기 위하여 Sol A에서 EtOH/TEOS의 몰 비는 40으로 고정하고 Sol B에서 MeOH/MTMS의 몰 비는 10으로 고정하였다.
3.2. TEOS/염기 및 MTMS/산 혼성 AR 코팅막의 광학 특성
Sol A와 Sol B를 혼합하고 혼합비를 변화시키며 다양한 TEOS/염기 및 MTMS/산 혼성 용액(Sol C)을 제조하였다. Figure 2는 Sol C를 이 용하여 제조한 코팅막의 평균 투과율과 최대 투과율을 MTMS/산 기 반 용액인 Sol B의 첨가량을 기준으로 나타낸 것이다. 이때, Sol B의 함량이 0 wt%인 경우는 Sol A만으로 제조한 코팅막을 의미하며, 100 wt%인 경우는 Sol B만으로 제조한 코팅막을 의미한다. TEOS/염기 및 MTMS/산 혼성 용액에서 Sol B의 함량이 10 wt% 이하인 경우에는 제 조된 코팅막의 평균 투과율이 모두 96.9% 이상으로 높게 유지되었다. 그리고 Sol B의 함량이 10 wt%일 때 97.2%의 가장 높은 평균 투과율 과 99.2%의 최대 투과율을 나타내었다. 이후 Sol B의 함량이 30 wt% 부터 70 wt%까지 증가할수록 평균 투과율 및 최대 투과율은 급격히 감소하였으며, 70 wt% 이상에서는 Sol B만으로 제조한 코팅막과 유 사하게 낮은 투과율을 나타내었다. 이로부터 혼성 용액인 Sol C를 이 용하여 코팅막을 제조할 때, AR 코팅막의 가장 중요한 기능인 높은 투과율을 얻기 위하여 Sol B의 함량은 10 wt% 이하로 첨가해야 한다 는 것을 확인할 수 있다.
AR 코팅막 도입을 통한 투과율 향상의 효과를 비교할 목적으로 코 팅하지 않은 유리 기판(bare glass)과 Sol B의 함량이 10 wt% 첨가된 혼성 용액을 이용하여 제조된 AR 코팅막의 투과율 스펙트럼을 Figure 3에 나타내었다. AR 코팅막의 평균 투과율은 97.2%로 코팅하지 않은 유리 기판의 평균 투과율인 약 90.4%보다 6.8% 이상 크게 향상되었다. 특히, AR 코팅막의 투과율은 태양광 에너지 전환 효율이 높은 540~ 560 nm 범위의 가시광선 영역에서 매우 크게 향상되었다. 이와 같은 투과율 향상에 따른 반사방지 효과는 기판의 표면 사진으로부터 관찰 할 수 있다. Figure 4(a)에서 코팅하지 않은 유리 기판은 빛의 반사 정 도가 매우 높아 유리 기판 아래의 글자를 거의 확인할 수 없었다. 한 편, Figure 4(b)와 같이 AR 코팅된 기판은 빛의 반사 정도가 매우 크 게 감소하여 기판 아래의 글자를 명확하게 확인할 수 있었다.
3.3. TEOS/염기 및 MTMS/산 혼성 AR 코팅막의 내오염성 및 기 계적 특성
액체의 접촉각은 고체 표면의 표면에너지와 거침 정도에 의해 결정 되며, 낮은 표면에너지를 갖는 물질은 높은 소수성(큰 접촉각)을 보이 게 된다. 보통 접촉각이 90° 이상이면 액체와 고체 경계면에서 반발력 이 작용하는 상태로 소수성을 나타내며, 극단적으로 낮은 표면에너지 는 소유성까지 갖게 하여 때가 타지 않는 내오염성을 갖는 표면을 가 능하게 한다[22-24]. 본 연구에서는 AR 코팅된 기판 표면의 내오염성 을 확인하기 위하여 H2O와 CH2I2 접촉각을 측정했으며, 두 개의 접촉 각을 바탕으로 Owen-Wendt법을 이용하여 고체의 표면에너지를 결정 했다[25].
Figure 5는 혼성 용액인 Sol C를 이용하여 제조한 코팅막의 접촉각 을 MTMS/산 기반 용액인 Sol B의 첨가량을 기준으로 나타낸 것이다. Figure 5에 의하면, Sol B의 함량이 0 wt%에서 10 wt%까지 증가함에 따라 H2O 접촉각은 약 58°에서 약 121°로 급격하게 증가하였으며, 이 후 Sol B의 함량이 10 wt% 이상으로 증가함에 따라 106.6°까지 서서 히 감소하였다. 또한, CH2I2 접촉각의 경우, Sol B의 함량이 0 wt%에 서 10 wt%로 증가함에 따라 CH2I2 접촉각이 약 21°에서 약 90°로 급 격하게 증가하였으며, Sol B 함량이 더 증가하여도 CH2I2 접촉각은 거 의 일정하게 유지됨을 알 수 있다. 제조된 코팅막들은 전체적으로 H2O 접촉각이 CH2I2 접촉각보다 높은 것으로 관찰되었다. 한편, 두 개 의 접촉각 측정 결과를 바탕으로 Owen-Wendt 법을 이용하여 결정된 고체-기체의 표면에너지(γSG)를 Figure 6에 나타내었다. 이 값은 분산 상호작용에 의한 표면에너지()와 극성 상호작용에 의한 표면에너 지() 값의 합으로 나타낼 수 있다[24]. Figure 6에 의하면, Sol B를 첨가하여 제조된 코팅막의 경우 모두 12.7~19.1 mN/m 범위에서 매우 낮은 표면에너지 값을 보여준다. 또한 10 wt%의 Sol B를 첨가하여 제 조된 코팅막의 경우 극성 기여도는 거의 없는 것으로 나타났으며, 분 산 기여도가 전체 표면에너지의 대부분을 차지하는 것으로 나타났다. 이는 Sol B의 첨가로 인해 AR 코팅막의 표면에서 적절하게 분산된 메틸기(-CH3)를 갖는 선형 구조의 실리카가 극성 기여도를 크게 감소 시킬 뿐만 아니라 내오염성을 크게 향상시킨다는 것을 의미한다.
Figure 7은 Sol B의 함량 변화에 따른 AFM 표면 분석 결과를 나타 낸 것이다. 여기서 0, 10 및 100 wt%는 각각 Sol A만으로 제조한 코 팅막, Sol C (10 wt%의 Sol B 첨가) 혼성 용액으로 제조한 코팅막 그 리고 Sol B만으로 제조한 코팅막의 표면을 의미한다. Figure 7(a)의 TEOS/염기 기반 코팅 표면의 경우, 입자 크기가 비교적 굵고 규칙적 이며 부드러운 굴곡을 갖는 것으로 나타났다. 표면 거칠기 Rq는 1.07 nm로 비교적 낮았는데, 이것은 TEOS/염기 기반 용액에서 구형으로 응집된 실리카 코팅 표면에서 일반적으로 관찰되는 현상과 잘 일치한 다[19,26]. Figure 7(c)의 MTMS/산 기반 코팅 표면의 경우, 불규칙한 큰 기둥들이 다수 존재하는 것을 확인할 수 있으며 전체적으로 표면 은 비교적 매끈한 형태를 유지하고 있다. 표면 거칠기 Rq는 2.43 nm 로 상대적으로 높았으나, 큰 기둥들의 존재가 거칠기 값을 증가하는 데 기여하기 때문에 표면 거칠기가 향상되었다고 보기 어렵다. 이것 은 MTMS/산 기반 용액에서 선형으로 성장하고 밀집된 구조를 형성 하기 때문인 것으로 사료된다. 한편, TEOS/염기 및 MTMS/산 용액을 적절하게 혼합하여 제조된 코팅 표면(Figure 7(b))의 경우, 표면 거칠 기 Rq는 1.93 nm이며 실리카 클러스터들 사이에 협곡 모양의 구조가 잘 발달된 것을 관찰할 수 있다. 따라서 TEOS/염기 및 MTMS/산 혼 성 AR 코팅막의 투과도 및 내오염성을 동시에 향상시키기 위하여, TEOS/염기 용액에서 구형으로 성장한 실리카 코팅막의 다공 구조를 유지하며, 그 표면 위에 메틸기를 갖는 선형의 실리카가 고르게 분산 되고 결합할 수 있는 조성을 찾는 것이 중요하다는 것을 확인할 수 있었다.
Figure 8은 Sol B의 함량을 변화시키며 제조한 혼성 용액으로부터 얻은 크세로겔의 FT-IR 스펙트럼을 나타낸 것이다. 모든 시료에서 Si-O-Si 결합을 나타내는 두 개의 흡수 피크가 1,063 및 798 cm-1 부근 에서 관찰되었으며, 965 cm-1 부근에서 Si-OH의 수산기(-OH)에 기인 한 피크가 관찰되었다. MTMS/산 용액의 축합과정에서 생성된 실리 카 표면의 메틸기와 관련된 C-H 흡수 피크는 2,976 및 2,916 cm-1에서 관찰되었으며, Si-CH3 신축 진동에 해당하는 피크는 1,270 cm-1 부근 에서 관찰되었다[10]. 특히, MTMS/산 용액인 Sol B의 함량이 증가함 에 따라 메틸기와 관련된 피크들이 크게 증가한 것을 확인할 수 있다. 한편, 10 wt% Sol B의 함량으로 제조한 시료의 경우, 메틸기의 양이 상대적으로 작고 잘 분산되었음을 나타내듯이 관련 피크들의 크기가 매우 작은 것을 확인할 수 있다.
제조된 TEOS/염기 및 MTMS/산 혼성 AR 코팅막의 기계적 강도를 확인하기 위하여 연필 경도 시험을 진행하였으며, 그 결과를 Table 3 에 나타내었다. Sol B의 함량 비가 0, 1 및 3 wt%인 용액으로 제조한 코팅막에서 연필 경도는 1 H로 매우 낮게 나타났다. 광학 특성과 내 오염성이 가장 우수했던 Sol B의 함량 비가 10 wt%인 용액으로 제조 한 코팅막의 경우, 강도가 중간 정도로 향상되었음을 나타내듯이 4 H 의 연필 경도를 나타내었다. Sol B의 함량이 30 wt% 이상인 AR 코팅 막의 연필 경도는 상대적으로 증가하였으며, 100 wt%의 함량에서 8 H의 연필 경도를 나타내었다. TEOS/염기 용액으로 제조한 코팅막은 망상 구조의 실리카 입자들을 포함하기 때문에 기공 부피가 증가하여 작은 힘으로도 붕괴될 수 있다. 한편, MTMS/산 용액으로 제조한 코 팅막은 선형 구조의 실리카 입자로 이루어져 있기 때문에 밀집되어 높은 연필 경도를 나타내었다[19]. 따라서 AR 코팅막의 강도를 증가 시키기 위하여 MTMS/산의 함량비를 증가시키는 방법을 고려할 수 있 는데, AR 코팅막 내 기공 부피의 감소는 투과율의 감소로 이어질 수 있으므로 투과율을 고려하여 적절한 양의 MTMS/산 용액의 첨가가 필요한 것으로 사료된다.
4. 결 론
본 연구에서는 TEOS/염기 용액 및 MTMS/산 용액의 단순한 혼합 을 통해 적절한 강도를 가지며 높은 투과율과 우수한 내오염성을 갖 는 코팅막을 제조하였으며, 다음과 같은 결론을 얻었다.
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1) TEOS/염기 용액과 MTMS/산 용액 각각에 대하여 용매의 첨가 량을 변화시키며 코팅막의 광학 특성을 조사한 결과, 가장 투과율이 우수한 TEOS/염기 용액(Sol A)의 조성비는 TEOS : H2O : EtOH : NH3 = 1 : 3.25 : 40 : 0.17이었으며, MTMS/산 용액(Sol B)의 조성비 는 MTMS : H2O : MeOH : HCl = 1 : 3.07 : 10 : 0.001이었다.
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2) TEOS/염기 및 MTMS/산 혼성 용액(Sol C)으로 제조한 AR 코팅 막에서 MTMS/산 코팅제의 함량이 10 wt% 이하로 낮을 때 상대적으 로 높은 투과율을 나타내었으며, 10 wt%에서 97.2%의 가장 우수한 투과율을 나타냈다.
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3) TEOS/염기 및 MTMS/산 혼성 용액으로 제조한 AR 코팅막은 MTMS/산 용액의 함량이 10 wt%일 때 가장 우수한 내오염성(121°의 물 접촉각 및 90°의 CH2I2 접촉각)을 나타냈고, 그 함량이 더 증가함 에 따라 서서히 감소하였다. 이것은 혼성 용액 내 소량의 MTMS/산 용액으로부터 유래된 메틸기(-CH3)의 고른 분산에 기인한 것으로 고 려되었다.
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4) TEOS/염기 및 MTMS/산 혼성 용액으로 제조한 AR 코팅막의 기 계적 강도는 MTMS/산 용액의 함량이 증가할수록 증가하는 경향을 나타내었다. 투과율과 내오염성이 우수한 MTMS/산 용액의 함량이 10 wt%인 조건의 경우, AR 코팅막으로의 응용이 가능한 중간 정도의 기계적 강도(4 H의 연필 강도)를 나타내었다.