As the medical paradigm is changing from disease treatment to disease prevention and an early diagonosis, the demand to develop techniques for the detection of minute concentrations of biomolecules is increasing. Among the various techniques to sense the minute concentration of biomolecules, the biosensors utilizing the matured semiconductor techniques are presented here. To understand such biosensors, the structure and working principle of a MOSFET (Metal-oxide-semiconductor field-effect transistor) which is the basic semiconductor device is firstly introduced, and then the ISFET (Ion sensitive FET), BioFET (Biologically modified FET), Nanowire FET, and IFET (Ionic FET) are introduced, and their applications to biomedical fields are discussed.

의료의 패러다임이 질병 치료에서 질변 예방 및 조기 진단으로 변화하면서 미량의 생분자를 측정할 수 있는 기술에 대한 수요가 증가하고 있다. 미량의 생분자를 측정할 수 있는 다양한 기술이 존재하는데 여기서는 성숙된 반도체 기 술을 이용한 바이오센서에 대해 언급하고자 한다. 이의 이해를 돕기 위해 반도체의 기본 소자인 MOSFET (Metal-oxide- semiconductor field-effect transistor)의 구조와 원리를 소개하고, 이를 응용한 ISFET (Ion sensitive FET), BioFET (Biologically modified FET), Nanowire FET, 그리고 IFET (Ionic FET)에 대한 소개와 이의 생명공학에 대한 응용에 대해 논하고자 한다.