Journal Search Engine
Search Advanced Search Adode Reader(link)
Download PDF Export Citaion korean bibliography PMC previewer
ISSN : 1225-0112(Print)
ISSN : 2288-4505(Online)
Applied Chemistry for Engineering Vol.22 No.1 pp.31-36
DOI :

Research Papers : Effects of Operating Parameters on Tetrafluoromethane Destruction by a Waterjet Gliding Arc Plasma

Young Nam Chun

Abstract

Poly[2,3-dimethyl-5,8-dithiophene-2-yl-quinoxaline-alt-9,9-dihexyl-9H-fluorene] (PFTQT) and poly[2,3-dimethyl-5,8-dithiophen- 2-yl-quinoxaline-alt-10-hexyl-10H-phenothiazine (PPTTQT) based on 2,3-dimethyl-5,8-dithiophen-2-yl-quinoxaline were synthesized by Suzuki coupling reaction. All polymers were soluble in common organic solvents such as chloroform, chlorobenzene, o-dichlorobenzene, tetrahydrofuran (THF) and toluene. The maximum absorption wavelength and band gap of PFTQT were 440 nm and 2.30 eV, and PPTTQT were 445 nm and 2.23 eV, respectively. The HOMO and LUMO energy level of PFTQT were -6.05 and -3.75 eV, and PPTTQT were -5,89 and -3.66 eV, respectively. The organic photovoltaic devices based on the blend of polymer and PCBM (1:2 by weight ratio) were fabricated. Efficiencies of devices were 0.24% (PFTQT) and 0.16% (PPTTQT), respectively. The short circuit current density (Jsc), fill factor (FF), and open circuit voltage (Voc) of the device with PFTQT were 0.97 mA/cm2, 29% and 0.86 V, and the device based on PPTTQT were 0.80 mA/cm2, 28% and 0.71 V, 31% and 0.71 V, respectively, under air mass (AM) 1.5 G and 1 sun condition (100 mA/cm2).

연구 논문 : 워터젯 글라이딩 아크 플라즈마에 의한 사불화탄소 제거에 미치는 운전변수의 영향

전영남,이채홍

초록

사불화탄소(CF4)는 반도체 제조공정에서 플라즈마 에칭과 화학기상증착(CVD)에서 사용되어온 가스이다. CF4는 적외선을 강하게 흡수하고 대기 중 잔류시간이 길어서 지구온난화에 영향을 미치기 때문에 고효율의 분해가 필요하다. 본 연구에서는 플라즈마와 워터젯을 결합하여 방전영역을 증가시키고 다량의 OH 라디칼을 생성시켜 CF4를 고효율로 분해할 수 있는 워터젯 글라이딩 아크 플라즈마 시스템을 개발하였다. 실험 변수로 전극 형태, 전극 각도, 가스 노즐 직경, 전극 간격과 전극 길이를 취하였다. 변수실험을 통하여 Arc 형태의 전극에서 전극 각도가 20°, 가스 노즐 직경이 3mm, 전극 간격이 3mm, 전극 길이가 120mm일 때 CF4 분해율은 최고 93.4%까지 도달하였다.

Figure

Table