Soft-lithography is developing rapidly as a new approach to microfabrication for application in molecular electronic devices and bio-sensors. Here, we have fabricated the well-characterized monolayer of cytochrome c moleule along the micro pattern using the soft-lithography technique. A high resolution based on transferring a pattern from an elastomeric polydimethylsiloxane (PDMS) stamp to a gold substrate was obtained by surface modification such as plasma and chemical treatments. Especially, the PDMS polymer reformed using a chemical treatment showed a low aging effect for the hydrophobicity. The redox activity and integration of cytochrome c was investigated through the measurements of cyclic voltammetry and atomic force microscopy (AFM). Also, the feasibility of application for bioelectronic device was discussed.

소프트 리소그래피 기법은 바이오 센서 및 분자소자로의 응용에 있어서 마이크로 사이즈의 소자제작에 대한 새로운 접근방법으로 빠르게 발전하고 있다. 본 연구에서는 소프트 리소그래피 기법을 사용하여 마이크로 패턴을 따라 특성화된 단백질 cytochrome c의 단분자층을 제작하였다. 플라즈마와 화학적 처리와 같은 표면 개질화를 통해 탄성체 polydimethylsiloxane 스템프에서 금 기판으로의 패턴 전사에 대한 높은 분해능을 얻을 수 있었다. 특히 화학적 처리에 의해 개질화된 PDMS 고분자는 소수성에 대한 낮은 노화 현상을 나타냈다. Cytochrome c의 산화 환원 활성도는 cyclic voltammetry와 AFM을 사용하여 조사하였고, 또한 생물 전자소자로의 응용가능성에 대해서도 검토하였다.